Hersteller, Lieferant, Dienstleister und Anbieter für PlasmasystemenAurion Anlagentechnik GmbH 63500 Seligenstadt
AURION entwickelt und baut Komponenten für die Leistungsversorgung von Plasmasystemen. Hierzu gehören Impedanzanpassungsnetzwerke mit Autotuningeinheit sowie Filter, Schalter, Phasenschieber, Leistungsteiler, Leitungen und Steckverbinder. Der Schwerpunkt liegt im Bereich der Hochfrequenz-Plasmaprozesse bei 13,56 bzw. 27,12 MHz.
Plasmaanlagen
- Plasmaverfahren
- Atmosphären-Plasmaquellen
- Das KIVOS-Konzept
- RIE
- PECVD
- Mikrowelle
- Sputteranlagen
- Cluster- und Inline-Anlagen
Darüber hinaus entwickeln wir permanent neue, sowohl kostensenkende als auch umweltverträgliche Technologien und tragen durch die Optimierung vorhandener Prozesse zur Effektivitätssteigerung bei. Komplette Systeme für die Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen mittels Plasmaprozessen.Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, Reaktivem Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen Downstream Plasma und
Beschichtung durch Physical Vapour Deposition (PVD, Sputtern) und Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD).
Die Modelle der AURION IMAPlaS Serie können zum Aktivieren und Reinigen von Oberflächen aller Art eingesetzt werden, außerdem zum Abtragen diverser Materialien. Sie kommen so in weiten Gebieten der Mikroelektronik, Elektronik, Optik, Sensortechnik, Medizintechnik und verschiedensten weiteren Industriesegmenten zur Anwendung.
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